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项目名称 溅射薄膜压强传感器
项目品类 信息类型
参考价格 面议 万元 项目状态
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技术项目信息登记表(供给方)

技术项目名称 溅射薄膜压强传感器
行业分类 一级    二级    三级 
6+1产业分类
权属人所属地域 省    市    区 
项目权属 (个人或单位名称) 中国航天科技集团公司四院第四十四研究所
专利情况 有   专利号:
无  (多项专利可在项目简介中列出)
专利类别 发明    实用新型      外观设计
申请日 授权日
意向价格 面议 万元
合作方式 技术转让  技术服务 


需求方式
项目简介
溅射薄膜压强传感器技术主要由溅射薄膜压强传感器敏感结构、金属纳米薄膜敏感芯体批量生产工艺及多功能智能信号处理技术构成,其核心是敏感器件结构设计及其离子束溅射成型工艺。离子束溅射是采用低能加速器轰击,动能转换搬迁原子薄膜淀积技术,将纳米薄膜应变电阻直接制作在和金属弹性体紧密结合的陶瓷绝缘膜上,实现了敏感元件与绝缘膜、金属弹性体和绝缘膜的原子结合。在此基础上结合离子束刻蚀工艺以及微机械加工工艺,制成了纳米薄膜压力传感器,使之具有高稳定性、温度范围宽的本质特性,是传统的硅半导体压强传感器所无法匹敌的。结合优秀的结构设计,溅射薄膜传感器就具备了体积小、可靠性高、环境适应性强等突出的优点,非常适合油田、工程机械、航空航天、军工等对传感器可靠性和长期稳定性要求高的应用领域。同时,为了适应智能化、网络化测试的技术发展需要,创造性的集成开发了具备物联网特征的服务功能。经成果鉴定,达到了国内领先的技术水平,与国外同类高端产品相比具有明显的成本优势,完全可以替代进口。


获得资助情况
(国家计划课题等)
项目开发阶段 产业化
样品情况 样品类型 实物 


信息有效期      至   

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