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项目名称 | 靶盘存储装置 | ||
项目品类 | 信息类型 | ||
参考价格 | 面议 万元 | 项目状态 | 【】 |
专利名称 | 靶盘存储装置
国内专利 |
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申请号/专利号 (例如:CN,JP) |
CN201120465075.9 | 专利权人 | 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 |
申请日 | 授权日 | ||
公开(公告)号 (例如:CN,JP) |
CN202321251U | 法律状态 | 已授权 |
行业分类 | 一级 二级 三级 | ||
战略性新兴产业分类 | 一级 二级 三级 | ||
意向价格 | 面议 万元 | 权属人所属地域 | 省 市 区 |
IPC分类 | 一级 二级 三级 | ||
专利类别 | 实用新型 | ||
是否有PCT 选项: | |||
合作方式 | 技术转让 技术许可 |
专利摘要 |
本实用新型涉及一种靶盘存储装置,包括:底座;腔室,固定在所述底座上,用于存储一靶盘;气缸,固定于所述腔室的内侧,垂直于腔室表面;可折叠支架,活动连接至所述气缸,且所述可折叠支架一端用于固定所述靶盘;其中,所述可折叠支架能相对所述腔室在平行于所述腔室表面的方向上移动,所述气缸能带动所述可折叠支架沿垂直于所述腔室表面的方向移动。本实用新型的靶盘存储装置可避免在靶盘拆卸后待送洗的过程中以及靶盘在运输途中发生磕碰,避免靶盘受到外力伤害,并防止清洗后的靶盘长时间暴露在空气中可以良好的保存,保证靶盘的质量。 |
信息有效期 | 至 2018-03-31 |
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