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项目名称 垂直炉管
项目品类 信息类型
参考价格 面议 万元 项目状态
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专利登记表(供给方)

专利名称 垂直炉管     
国内专利
申请号/专利号
(例如:CN,JP)
CN201120421033.5 专利权人 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司
申请日 授权日
公开(公告)号
(例如:CN,JP)
CN202282335U 法律状态 已授权
行业分类 一级    二级    三级 
战略性新兴产业分类 一级    二级    三级 
意向价格 面议 万元 权属人所属地域 省    市    区 
IPC分类 一级    二级    三级 
专利类别 实用新型
是否有PCT 选项:
合作方式 技术转让  技术许可 


专利摘要

本实用新型公开了一种垂直炉管,包括晶舟、保温桶和石英基座,所述石英基座设置于所述保温桶内,所述晶舟安装于所述保温桶上方,所述保温桶的顶部设有开口,所述晶舟的底部设有通孔,还包括一用于封闭所述保温桶的开口的挡板,所述挡板设置于所述保温桶内部且所述挡板位于所述石英基座的上方。本实用新型提供的垂直炉管,结构简单,使用方便,通过在所述保温桶内部设置一块用于封闭所述保温桶的开口的挡板,可以防止石英基座表面的多晶硅薄膜被气流经所述保温桶的开口带入晶舟的底部区域,从而防止晶舟底部的颗粒物质超标,确保产品良率。



信息有效期      至   2018-03-31

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