本实用新型公开了一种晶圆盒自动清洗装置，包括控制器、双向伸缩机构、两连接杆、两带有刷毛的刷桶、两喷水管、喷水控制阀和推进杆，所述双向伸缩机构具有两相背的输出端，两相背的输出端分别通过对应的连接杆和对应的刷桶相连，刷桶的纵向和双向伸缩机构的伸缩方向相垂直，刷桶的纵向和喷水管的纵向相平行，所述推进杆的一端固定连接于双向伸缩机构的侧部，所述推进杆的运动方向和刷桶的纵向相垂直，所述控制器分别与双向伸缩机构和喷水控制阀信号连接。通过控制器控制喷水控制阀，使得喷水管向晶圆盒的内壁喷射纯净水，起到冲洗颗粒和浸湿晶圆盒内壁的作用，并可通过刷桶刷洗晶圆盒，从而有效提高晶圆盒的清洗效率和清洗效果。