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项目名称 | 晶圆盒自动清洗装置 | ||
项目品类 | 信息类型 | ||
参考价格 | 面议 万元 | 项目状态 | 【】 |
专利名称 | 晶圆盒自动清洗装置
国内专利 |
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申请号/专利号 (例如:CN,JP) |
CN201120395613.1 | 专利权人 | 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 |
申请日 | 授权日 | ||
公开(公告)号 (例如:CN,JP) |
CN202290684U | 法律状态 | 已授权 |
行业分类 | 一级 二级 三级 | ||
战略性新兴产业分类 | 一级 二级 三级 | ||
意向价格 | 面议 万元 | 权属人所属地域 | 省 市 区 |
IPC分类 | 一级 二级 三级 | ||
专利类别 | 实用新型 | ||
是否有PCT 选项: | |||
合作方式 | 技术转让 技术许可 |
专利摘要 |
本实用新型公开了一种晶圆盒自动清洗装置,包括控制器、双向伸缩机构、两连接杆、两带有刷毛的刷桶、两喷水管、喷水控制阀和推进杆,所述双向伸缩机构具有两相背的输出端,两相背的输出端分别通过对应的连接杆和对应的刷桶相连,刷桶的纵向和双向伸缩机构的伸缩方向相垂直,刷桶的纵向和喷水管的纵向相平行,所述推进杆的一端固定连接于双向伸缩机构的侧部,所述推进杆的运动方向和刷桶的纵向相垂直,所述控制器分别与双向伸缩机构和喷水控制阀信号连接。通过控制器控制喷水控制阀,使得喷水管向晶圆盒的内壁喷射纯净水,起到冲洗颗粒和浸湿晶圆盒内壁的作用,并可通过刷桶刷洗晶圆盒,从而有效提高晶圆盒的清洗效率和清洗效果。 |
信息有效期 | 至 2018-03-31 |
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