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项目名称 垂直叠加式自动缓冲系统
项目品类 信息类型
参考价格 面议 万元 项目状态
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专利登记表(供给方)

专利名称 垂直叠加式自动缓冲系统     
国内专利
申请号/专利号
(例如:CN,JP)
CN201220207665 专利权人 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司
申请日 授权日
法律状态 已授权
行业分类 一级    二级    三级 
意向价格 面议 万元 权属人所属地域 省    市    区 
IPC分类 一级    二级    三级 
专利类别 实用新型
是否有PCT 选项:
合作方式


专利摘要

本实用新型提供了一个垂直叠加式自动缓冲系统,包括晶圆盒保护装置、装载端口、壳体,以及所述壳体内的晶圆处理装置,每层供放置一个晶圆盒,所述晶圆盒保护装置的每一层都与对应的所述装载端口连接。本实用新型通过多层的晶圆盒保护装置的引入,充分利用了垂直空间,而避免了现有技术中水平摆放的缺点,不仅节省了平面的空间,同时也使得晶圆传输机器使用的运转部件更少,运转方式更加简洁,从而提高了工作效率。



信息有效期      至   2018-03-31

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