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| 项目名称 |  垂直叠加式自动缓冲系统 |
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| 项目品类 | 信息类型 | ||
| 参考价格 | 面议 万元 | 项目状态 | 【】 |
| 专利名称 | 垂直叠加式自动缓冲系统
国内专利 |
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| 申请号/专利号 (例如：CN，JP) |
CN201220207665.6 | 专利权人 | 中芯国际集成电路制造（上海）有限公司 |
| 申请日 | 授权日 | ||
| 公开（公告）号 (例如：CN，JP) |
CN202549810U | 法律状态 | 已授权 |
| 行业分类 | 一级 二级 三级 | ||
| 战略性新兴产业分类 | 一级 二级 三级 | ||
| 意向价格 | 面议 万元 | 权属人所属地域 | 省 市 区 |
| IPC分类 | 一级 二级 三级 | ||
| 专利类别 | 实用新型 | ||
| 是否有PCT 选项： | |||
| 合作方式 | 技术转让 技术许可 | ||
| 专利摘要 |
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本实用新型提供了一个垂直叠加式自动缓冲系统，包括晶圆盒保护装置、装载端口、壳体，以及所述壳体内的晶圆处理装置，每层供放置一个晶圆盒，所述晶圆盒保护装置的每一层都与对应的所述装载端口连接。本实用新型通过多层的晶圆盒保护装置的引入，充分利用了垂直空间，而避免了现有技术中水平摆放的缺点，不仅节省了平面的空间，同时也使得晶圆传输机器使用的运转部件更少，运转方式更加简洁，从而提高了工作效率。 |
| 信息有效期 | 至 2018-03-31 |
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