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项目名称 研磨温控系统和研磨装置
项目品类 信息类型
参考价格 面议 万元 项目状态
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专利登记表(供给方)

专利名称 研磨温控系统和研磨装置     
国内专利
申请号/专利号
(例如:CN,JP)
CN201220079635 专利权人 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司
申请日 授权日
法律状态 已授权
行业分类 一级    二级    三级 
意向价格 面议 万元 权属人所属地域 省    市    区 
IPC分类 一级    二级    三级 
专利类别 实用新型
是否有PCT 选项:
合作方式


专利摘要

本实用新型公开了一种研磨温控系统,用于调整研磨平台上的研磨垫的温度,包括铺设于研磨平台内部的温控管道、用于采集研磨垫温度的温度采集单元、计算处理单元、温控水供给单元、供水管路以及排水管路,温控水供给单元通过供水管路与温控管道的进口连接,所述温控管道的出口连接排水管路,所述计算处理单元分别与温度采集单元和温控水供给单元信号连接,所述计算处理单元根据温度采集单元采集到的研磨垫的实际温度和研磨垫的目标温度的比较情况,通过控制温控水供给单元将研磨平台及研磨垫的温度保持在目标温度范围内,以降低温度对研磨速率稳定性的影响,提高产品良率。本实用新型还公开了一种采用上述研磨温控系统的研磨装置。

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信息有效期      至   2018-03-31

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