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项目名称 晶圆清洗刷和晶圆清洗装置
项目品类 信息类型
参考价格 面议 万元 项目状态
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专利登记表(供给方)

专利名称 晶圆清洗刷和晶圆清洗装置     
国内专利
申请号/专利号
(例如:CN,JP)
CN201220066406 专利权人 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司
申请日 授权日
法律状态 已授权
行业分类 一级    二级    三级 
意向价格 面议 万元 权属人所属地域 省    市    区 
IPC分类 一级    二级    三级 
专利类别 实用新型
是否有PCT 选项:
合作方式


专利摘要

本实用新型公开了一种晶圆清洗刷,包括刷桶,所述刷桶的外圆周面设有沿刷桶轴向交错排列的叉形刷毛。本实用新型还公开了一种晶圆清洗装置,包括一对晶圆清洗刷,所述晶圆清洗刷分别压在所述晶圆的正反表面并对晶圆进行滚动刷洗,每个晶圆清洗刷包括刷桶,所述刷桶的外圆周面设有沿刷桶轴向交错排列的叉形刷毛。本实用新型通过将刷桶上的刷毛设置成沿刷桶轴向交错排列的叉形刷毛,可以实现快速、彻底清洗晶圆表面上的颗粒的目的。另通过增设一排设有若干刷桶清洗喷嘴的第二喷水管,可以将刷桶上的颗粒及时冲走,防止这些颗粒被重新带回到晶圆表面,进一步确保了晶圆清洗的效果和效率。通过增设活动的单独调控的喷嘴可以加强重点区域的冲洗效果。

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信息有效期      至   2018-03-31

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