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项目名称 | 光学显微镜的强光灯 | ||
项目品类 | 信息类型 | ||
参考价格 | 面议 万元 | 项目状态 | 【】 |
专利名称 | 光学显微镜的强光灯
国内专利 |
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申请号/专利号 (例如:CN,JP) |
CN200920211926.X | 专利权人 | 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 |
申请日 | 授权日 | ||
公开(公告)号 (例如:CN,JP) |
CN201532492U | 法律状态 | 已授权 |
行业分类 | 一级 二级 三级 | ||
战略性新兴产业分类 | 一级 二级 三级 | ||
意向价格 | 面议 万元 | 权属人所属地域 | 省 市 区 |
IPC分类 | 一级 二级 三级 | ||
专利类别 | 实用新型 | ||
是否有PCT 选项: | |||
合作方式 | 其他 技术转让,技术许可 |
专利摘要 |
本实用新型涉及一种显微镜,尤其涉及一种光学显微镜的强光灯。这种光学显微镜的强光灯,包括发光源装置和光纤线缆,所述发光源装置包括旋转式的发光源座、控制面板及均布于所述发光源座上的若干发光源体及所述发光源座和光纤线缆的入射端通过固定框架相对设置,所述光纤线缆的出射端设置在用于放置晶圆的载物台上方,所述发光源座和所述发光源体分别与所述控制面板连接,所述控制面板控制所述发光源座转动使得需要的发光源体对准所述光纤线缆的入射端。由于光学显微镜的强光灯具有多光源,可根据不同的晶圆选择适用合适光源,便于检测人员查找较小色差缺陷,提高晶圆缺陷检测准确率和效率。通过增设光束发散元件,扩大光源照射在晶圆上的面积。 |
信息有效期 | 至 2018-03-31 |
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