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项目名称 自动升降组件及纳米探针制作组件
项目品类 信息类型
参考价格 面议 万元 项目状态
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专利登记表(供给方)

专利名称 自动升降组件及纳米探针制作组件     
国内专利
申请号/专利号
(例如:CN,JP)
CN200920212003.6 专利权人 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司
申请日 授权日
公开(公告)号
(例如:CN,JP)
CN201548576U 法律状态 已授权
行业分类 一级    二级    三级 
战略性新兴产业分类 一级    二级    三级 
意向价格 面议 万元 权属人所属地域 省    市    区 
IPC分类 一级    二级    三级 
专利类别 实用新型
是否有PCT 选项:
合作方式 其他  技术转让,技术许可


专利摘要

本实用新型提供了一种自动升降组件,该组件包括支架;可根据第一控制信号驱动第二驱动部靠近或远离腐蚀液的第一驱动部,固定于支架;可夹持待伸入至腐蚀液的待腐蚀物的伸缩部,装设于第二驱动部朝向腐蚀液的一端;可依据第二控制信号在靠近腐蚀液时驱动伸缩部伸缩、以调整所夹持待腐蚀物伸入至腐蚀液长度的第二驱动部;以及,输出第一控制信号至第一驱动部、输出第二控制信号至第二驱动部的控制器。本实用新型还提供了一种纳米探针制作组件。采用本实用新型的自动升降组件,能够提高升降速度的均匀性;采用本实用新型提供的纳米探针制作组件,能够提高探针升降速度的均匀性,进而能够提高探针针尖锥度的均匀性。



信息有效期      至   2018-03-31

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