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项目名称 | 一种载片装置 | ||
项目品类 | 信息类型 | ||
参考价格 | 面议 万元 | 项目状态 | 【】 |
专利名称 | 一种载片装置
国内专利 |
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申请号/专利号 (例如:CN,JP) |
CN200920211675.5 | 专利权人 | 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 |
申请日 | 授权日 | ||
公开(公告)号 (例如:CN,JP) |
CN201532945U | 法律状态 | 已授权 |
行业分类 | 一级 二级 三级 | ||
战略性新兴产业分类 | 一级 二级 三级 | ||
意向价格 | 面议 万元 | 权属人所属地域 | 省 市 区 |
IPC分类 | 一级 二级 三级 | ||
专利类别 | 实用新型 | ||
是否有PCT 选项: | |||
合作方式 | 其他 技术转让,技术许可 |
专利摘要 |
本实用新型揭露了一种载片装置,所述载片装置包括底盘以及设置于所述底盘上的载片盘,所述载片盘上具有固定槽。使用本实用新型所提供的载片装置进行双面晶片目检时,晶片可与载片装置构成一整体置于机台上自动目检,简化了操作程序,降低了晶片刮伤和破片的风险,提高了效率。 |
信息有效期 | 至 2018-03-31 |
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