【技术概述】针对光伏行业需求，利用军工XX型号、XX工程技术，开展用于PERC电池背钝化膜制备的链式PECVD设备的产业化研究。设备工作原理是在低压环境下，利用微波电离工艺气体，形成等离子体态，加速化学反应过程，在硅片表面形成Al2O3和SiNx双层薄膜，对电池背面形成有效钝化，减少少数载流子复合，从而提高电池光电转换效率。本项目将利用48所已经取得的成膜工艺、大流量MO源稳定精确输送、等离子体放电、链式不等速传动、超大腔体真空与破真空快速切换、低温高均匀性加热等关键单元技术，系统集成链式PECVD设备，解决行业技术瓶颈。

【主要技术指标】

产能：3200片/小时

载板规格：6×5

成膜种类：Al2O3/SiNx

均匀性（片内、片间、批间）：SiNx（±4%，±4%，±3%）、Al2O3（±5%，±5%，±4%）

成膜厚度 20nm

工艺温度 350/450℃

工艺压力 0.15/0.25（mbar)

微波频率 2.45GHz

微波功率、数量 3KW×2、2+6

TMA输送方式 LFC+CEM (Bronkhost)

气体输送方式 数字式质量流量计

压力控制 VAT蝶阀自动控制

占地面积（不含自动化） 15620mm×5300mm

【适用范围】新能源、FPD、节能玻璃。

【专利状态】授权发明专利3项，受理专利2项

【技术状态】小批量生产、工程应用阶段

【预期效益】根据国家能源局制订的发展规划，2020年光伏装机容量将达到150GW，未来5年国内年均光伏安装量20GW，同时为实现用户侧平价上网的目标，只有高效率的PERC电池才能满足要求。而PERC电池生产线中除用于背钝化膜制备的链式PECVD设备尚未国产化外，其他设备均实现国产化并产业化。预计未来5年需要用于PERC电池背钝化膜制备的链式PECVD设备400台以上，市场容量120亿元人民币。按照年产10台计算，预计年产值1亿元，带动社会效益20个亿。