【技术概述】数字式特种开关电源是在模拟式电源的基础上开发的新型电源产品，针对一部分客户对电源的更高要求，对一些功能做了加强，比如连续弧的抑制，打火能量的控制等。数字式电源可以更方便地组成自动真空镀膜控制系统，配合本公司开发的控制系统能够更好地解决真空镀膜系统的集成，简化操作使用，自动控制生产工艺流程，降低人员成本以及改善工艺的可重复性和保密性。

【主要技术指标】

依不同应用和电源的具体参数，最大电压5KV，最大电流1000A,最高频率100KHZ。同时产品具有以下性能特点：

1．具有体积小、效率高、运行稳定、噪声低、对电网干扰小等优点。在节能和镀膜工艺的稳定性上显示出明显的优势。

2．具备自动稳压功能，可在电网电压和负载波动情况下，保证电源高效、稳定地工作，充分保证镀膜工艺的重复性。

3．针对实际工作时存在的频繁打火现象，设计了多重实用保护措施。

4．直流/脉冲电压、脉冲宽度、脉冲频率等均能在面板上方便地调节。

5．可选择就地手动控制、远端手动控制、模拟量控制接口和数字控制接口。

6．电源效率≥90%。

7．数字化控制、精度高、重复性好；易于操作使用。

8. 可提供高精度电压、电流双检测快速自动灭弧功能。

9、可通过RS232、RS485等数字端口与上位机进行通讯拓展了电源的控制功能。

10. 能够设置工作时间，显示电压、电流、功率、工作时间、工作状态。

【适用范围】等离子应用领域大功率开关电源、脉冲电源、测控系统，全逆变式真空镀膜电源（直流和中频磁控、单极性脉冲偏压和直流叠加脉冲偏压等）、离子源电源、电子枪电源、微弧氧化电源、等离子体抛光电源、等离子体矩电源及其它高频、高压脉冲电源。其中：

B系列逆变偏压电源主要用于多弧离子镀膜、磁过滤电弧离子镀膜、直流磁控溅射镀膜、非平衡磁控溅射镀膜和孪生靶中频磁控溅射镀膜、等离子体增强化学气相沉积（PECVD）等。

MS系列逆变磁控溅射电源主要用于平衡和非平衡磁控溅射靶的直流磁控溅射、单极性脉冲磁控溅射、中频孪生靶磁控溅射和中频非对称靶磁控溅射，它们是传统磁控溅射电源的更新换代产品。MS系列磁控溅射电源分模拟式和数字式两种类型。

A系列逆变电弧电源主要应用于多弧离子镀、金属等离子体源和电弧等离子体炬。

MAO微弧氧化电源专用于铝、钛、镁及其合金材料表面的微弧氧化处理。电源全部采用先进的高频开关电源技术，使用**新的开关器件，具有很好的输出波形及输出特性。电源具有正负脉冲输出，频率、正负电压幅度及脉冲宽度均可独立调节。电源设有过流、过热等保护，具有很高的可靠性。采用该电源可明显提高被处理工件的表面性能。

【技术状态】批量生产、成熟应用阶段。

【合作方式】技术服务。

【预期效益】该项目实施后，可实现年总产值1000万元以上，年利润约为200万元。此外，该项目符合国家节能减排发展规划，预期可增加就业岗位、促进地方经济的增长。