苯、甲苯、二甲苯（简称苯类）是化工业、橡胶制造业、建筑装饰业、药业、半导体器件制造业用来作溶剂、稀释剂、清洗剂的有机溶剂。苯类气体具有较强的毒性，长期或短期超量吸入对人体造成很大损害。本发明针对苯类毒性气体现有技术的不足，提供一种r-Fe2o3基苯类气体敏感器件及其制造方法。
r-Fe2o3基苯类气敏器件，采用旁热式结构和旁热式工艺制成，管蕊表面涂敷的敏感材料，是采用溶胶凝胶方法制备的纳米改超细粉，而且在制备过程中，进行钇的定量掺杂。以含钇的r-Fe2o3为基质材料新制备的苯类气敏器件，具有较高的灵敏度热稳定性、较强的抗湿性，同时对相邻气体酒精、丙酮具有较好的选择性。