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抽真空设备

价格:¥  面议  万元

公开号:CN104832398A

专利(申请号):CN201510174401.3

所属行业:

价值度:
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专利交易信息

专利名称 抽真空设备     
国内专利
申请号/专利号
(例如:CN,JP)
CN201510174401.3 专利权人 山西南烨立碁光电有限公司
申请日 2015-04-14 授权日 2018-02-06
公开(公告)号
(例如:CN,JP)
CN104832398A 法律状态 已授权
行业分类 一级    二级    三级 
意向价格 面议 万元 权属人所属地域 省    市    区 
IPC分类 一级    二级    三级 
专利类别 发明
是否有PCT 选项:
合作方式 技术转让  技术服务  技术许可  技术融资  技术授权 
专利摘要

本发明抽真空设备,属于抽真空设备技术领域;解决的技术问题是提供了抽真空设备,通过工作实践改进真空系统结构设计,增加过滤阀,降低气体内部残留物对高压真空泵浦的影响,加入低真空计和高真空计对系统内部进行精确测量,控制设备精度,同时运用多阀门串联方式,保证进气稳定性,选择合适的密封方式,来提高真空系统密封性,从而降低了系统漏气率,提升设备安全性能;采用的技术方案为:抽真空设备,包括真空腔体、制程系统、破真空系统、低真空系统和高真空系统,各个系统分别与真空腔体连接,实现抽低真空,抽高真空,制程进气和破真空的工作过程;本发明可广泛应用于抽真空设备技术领域。

专利相关信息

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专利价值度评分:9/10分

  • 4
    1 10

    技术稳定性

    • 有效的发明专利,稳定性好
    • 无诉讼行为发生
    • 未发生过质押保全
    • 申请人未提出过复审请求
    • 未被申请无效宣告
  • 4
    1 10

    技术先进性

    • 该专利及其同族专利在全球被引用2次,先进性一般
    • 涉及5个IPC小组,应用领域较广泛
    • 研发人员投入1人
    • 未发生许可
    • 未发生转让
  • 4
    1 10

    保护范围

    • 6
    • 剩余有效期6039天
    • 在1个国家申请专利布局

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