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| 项目名称 |  一种电容式微机械超声换能器及其制备方法和应用 |
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| 项目品类 | 信息类型 | ||
| 参考价格 | 面议 万元 | 项目状态 | 【】 |
| 专利名称 | 一种电容式微机械超声换能器及其制备方法和应用
国内专利 |
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| 申请号/专利号 (例如：CN，JP) |
CN201910818366.2 | 专利权人 | 中国科学院深圳先进技术研究院 |
| 申请日 | 2019-08-30 | 授权日 | 2019-11-29 |
| 公开（公告）号 (例如：CN，JP) |
CN110510573A | 法律状态 | 审查中 |
| 行业分类 | 一级 二级 三级 | ||
| 战略性新兴产业分类 | 一级 二级 三级 | ||
| 意向价格 | 面议 万元 | 权属人所属地域 | 省 市 区 |
| IPC分类 | 一级 二级 三级 | ||
| 专利类别 | 发明 | ||
| 是否有PCT 选项： | |||
| 合作方式 | 技术转让 | ||
| 专利摘要 |
| 本发明提供了一种电容式微机械超声换能器及其制备方法和应用，所述电容式微机械超声换能器包括：第一组件以及第二组件，所述第二组件包括振动极板层和悬壁梁，所述第二组件中的振动极板层通过悬臂梁和第一组件相连，所述第二组件的振动极板层悬设在第一组件的内部；电容式微机械超声换能器在具有较好超声强度以及超声频率的前提下，能够大大降低器件面积，便于电容式微机械超声换能器阵列化；在制备过程中采用反应离子深刻蚀和湿法刻蚀配合使用，便于在制备过程中自停止；避免了多次光刻等，且能保证工艺操作过程中的一致性和可重复性；此外在刻蚀过程中产生的立柱，能够进一步增加支撑性能，避免第一组件和第二组件相互粘连。 |
| 信息有效期 | 2021-01-12 至 2021-12-31 |
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